(多选题)
用单晶硅材料制成的膜盒式电容气压传感器具有()特点。
A测量范围宽
B滞差极小
C重复性好
D无自热效应
正确答案
答案解析
略
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(简答题)
膜盒式电容气压传感器的结构原理?
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