1.电阻率的减小。
2.减小了功耗。
3.更高的集成密度。
4.良好的抗电迁徙性能。
5.更少的工艺步骤。
（简答题）
列出并讨论引入铜金属化的五大优点。
正确答案
答案解析
略
相似试题
（填空题）
随着铜布线中大马士革工艺的引入，金属化工艺变成刻蚀（）以形成一个凹槽，然后淀积（）来覆盖其上的图形，再利用（）把铜平坦化至ILD的高度。
（简答题）
列出油田油水乳状液类型，并讨论影响乳状液类型的因素有哪些？
（单选题）
联合国列出人类面临的五大危机不包含下列哪个危机？（）
（单选题）
20世纪80年代联合国列出人类面临的五大危机不包括（）。
（单选题）
与滑动轴承相比，滚动轴承的优点是：1）滚动摩擦远小于滑动摩擦；2）节约铜，锡，等贵重金属；3）精度由轴承本身决定，故对安装与配合精度要求降低；4）滚动轴承本身内部间隙很小，故能提高机器的旋转精度。其中（）的观点有错误。
（单选题）
孔金属化的目的通常是（）。
（填空题）
请列出强化地板的其中1项优点（）。
（简答题）
列出高频开关电源的五个优点。。
（简答题）
简述铜互连的优点及采取的工艺措施。
