光敏度:指单位面积上入射的使光刻胶全部发生反应的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜:基本原理是在光掩模的某些透明图形上增加或减少一个透明的介质层,称移相器,使光波通过这个介质层后产生180°的位相差,与邻近透明区域透过的光波产生干涉,抵消图形边缘的光衍射效应,从而提高图形曝光分辨率
驻波效应:在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波。
(简答题)
什么是光敏度,移相掩膜,驻波效应?
正确答案
答案解析
略
相似试题
(单选题)
光敏晶体管的工作原理是基于()效应。
(判断题)
光敏电阻的工作原理是基于光电导效应。
(名词解析)
驻波效应
(填空题)
光电式传感器是将光信号转换为电信号的光敏元件,根据光电效应可以分为(),(),热释电效应三种。
(填空题)
光电式传感器是将光信号转换为电信号的光敏元件,其中内光电效应可以分为()、()。
(单选题)
三相桥式全控整流电路电阻性负载时,控制角的最大移相范围是()度。
(单选题)
三相全控桥式整流电路带大电感负载时,控制角α的有效移相范围是()度。
(简答题)
什么是绝对移相?什么是相对移相?它们有何区别?
(填空题)
在同步电压为锯齿波的触发电路中,锯齿波底宽可达()度;实际移相才能达0º-180º度。