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(名词解析)

驻波效应

正确答案

光线照射到光刻胶与晶圆的界面上会产生部分反射。反射光与入射光会叠加形成驻波,形成驻波效应。驻波效应影响光刻分辨率。后烘烤后会部分消除驻波效应。

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