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(简答题)

Al/Si接触中的尖楔现象?

正确答案

Al/Si接触时,Si在Al膜的晶粒间界中快速扩散而离开接触孔的同时,Al就向接触孔内运动,填充因Si离开而留下的空间。在某些接触点处Al就象尖钉一样揳进到Si衬底中去,使pn结失效。这就是“尖楔”现象。

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