电子束烟气脱硫的工艺过程大致由预除尘、烟气冷却、加氨、电子束照射、副产品捕集五道工序组成。
烟气首先经锅炉静电除尘器除尘后进人冷却塔进一步除尘、降温和增湿，烟气温度从140℃左右降至60℃左右。此后将一定量的氨气、压缩空气和软水混合喷入反应器进口处，与烟气混合，经过高能电子束辐射后，SO2、NOx在游离基作用下生成H2SO4和HCO3，并进一步与NH3发生化学反应，生成（NH4）2SO4和NH4NO3粉末。部分粉末沉降至反应器底部，通过输送机排出，大部分粉末随烟气一起进入后续的电除尘器，从而被收集下来。洁净的烟气经引风机升压后进入烟囱排入大气。
