（多选题）
属于酸性蚀刻液再生的方法有（）。
A氯气再生
B通氧气或压缩空气再生
C电解再生
D双氧水再生
正确答案
答案解析
略
相似试题
（判断题）
酸性氯化铜蚀刻液的再生的最好的方法是双氧水再生法。
（多选题）
碱性蚀刻液再生方法有（）。
（多选题）
在酸性氯化铜蚀刻液体系的再生方法中，由于氯气是强氧化剂，直接通氯气是再生的最好方法。是因为（）。
（判断题）
碱性氯化铜蚀刻液的再生的最常用的方法是空气再生法。
（判断题）
能用酸性蚀刻液蚀刻的工件就绝对不用碱性蚀刻液。
（判断题）
酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定，容易控制。
（判断题）
酸性氯化铜蚀刻液用于蚀刻单面板和多层板的内层。
（判断题）
所有金属抗蚀层都可适用碱性蚀刻液，大部分金属不可用酸性蚀刻液，金除外。
（填空题）
晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种，其中酸性蚀刻是采用（）和硝酸的混合溶液，醋酸和磷酸当缓冲剂，一般去除约10-20μm厚的表面层。
