（简答题）

简述旋涂稳定的控制。

正确答案

（1）、尽量少开旋涂室的门，控制温湿度；
（2）、旋涂室的温度应对外部环境略高些，基本为30℃。湿度为30%；
（3）、各离子风机的状态；
（4）、各旋涂碗的安装下染料针头是否清洁；
（5）、各机械手的位置、染料泵、真空泵的工作状态等；
（6）、白片及OD的测量（基本为2小时测一次，特殊情况除外）；
（7）、各抽风供风系统是否良好运行。

答案解析

略

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