（简答题）

简述恒温恒湿机对旋涂的影响及注意事项。

正确答案

（1）有利于旋涂室内恒定的温湿度；
（2）恒温恒湿机可以用来调整OD；
（3）不太受外界环境影响；
（4）其本身为第二段的温度应比第一段温度高5~1℃。（因需先加热后才向旋涂室供风）；
（5）恒温恒湿机循环水是否正常。

答案解析

略

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