（简答题）
如何理解纳米级加工的物理实质？
正确答案
欲得到1nm的加工精度，加工的最小单位必然在亚微米级。由于原子间的距离为0.1-0.3nm，纳米级加工实际上以及到了加工精度的极限。
答案解析
略
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（填空题）
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