(单选题)
离子束的引出系统的间接引出系统中,阳极和插入电极之间形成一个离子密度较()的等离子体。
A低
B高
C均匀
D不均匀
正确答案
答案解析
略
相似试题
(单选题)
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引出系统形成离子束。
(单选题)
离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的()和引出部分组成。
(单选题)
引出系统要求能引出分散性较好的强束流,还希望具有较()的气阻。
(单选题)
离子源腔体中的气体放电形成()而引出正离子的。
(单选题)
硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是()。
(单选题)
离子注入装置的主要部件有()、分析器、加速聚焦系统等。
(单选题)
为了解决中性束对注入均匀性的影响,可在系统中设有(),使离子束偏转后再达到靶室。
(单选题)
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。
(单选题)
离子束垂直进入均匀的正交磁场后,将同时受到电场力和()的作用。