A磁分析器
B正交电磁场分析器
C静电偏转电极
D束流分析仪
（单选题）
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。
答案解析
（多选题）
下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。
早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
一般用（）测量注入的剂量。
离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。
半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。
