（单选题）
当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。
A临界剂量
B饱和剂量
C无损伤剂量
D零点剂量
正确答案
答案解析
略
相似试题
（单选题）
当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。
（多选题）
哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。
（单选题）
在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。
（单选题）
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。
（单选题）
一般用（）测量注入的剂量。
（单选题）
损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。
（多选题）
下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。
（单选题）
降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。
（单选题）
（）就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面，使其中离子注入层在极短的时间内达到高温，消除损伤。
