A热退火
B激光退火
C连续激光退火
D脉冲激光退火
（单选题）
在半导体器件制造中，对清洗用水的纯度有比较高的要求，要用经过纯化的（）作为清洁用水。
答案解析
沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。
激光退火目前有（）激光退火两种。
（简答题）
半导体分立器件如何分类？
半导体硅常用的施主杂质是（）。
如何选用半导体分立器件？
危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。
半导体硅常用的受主杂质是（）。
（多选题）
半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
