（单选题）
沾污引起的电学缺陷引起（），硅片上的管芯报废以及很高的芯片制造成本。
A不会影响成品率
B晶圆缺陷
C成品率损失
D晶圆损失
正确答案
答案解析
略
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（多选题）
净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。
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沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。
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在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。
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解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。
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对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。
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用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。
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哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。
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晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
