（多选题）
晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
A粒子扩散
B从气体源通过强迫性的对流传送
C化学反应
D被表面吸附
E静电吸引
正确答案
答案解析
略
相似试题
（单选题）
硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。
（单选题）
（）是因为吸附原子在晶片表面上彼此碰撞并结合所形成的。
（单选题）
由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的，所以其（）就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。
（多选题）
扩散工艺使杂质由半导体晶片表面向内部扩散，改变了晶片（），所以晶片才能被人们所使用。
（多选题）
晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
（单选题）
涂胶以后的晶片，需要在一定的温度下进行烘烤，这一步骤称为（）。
（多选题）
（）专指薄膜形成的过程中，并不消耗晶片或底材的材质。
（多选题）
涂胶之前，要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行，下列操作正确的是（）。
（单选题）
用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。
