（多选题）
晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
A除去光刻胶中剩余的溶剂
B增强光刻胶对晶片表面的附着力
C提高光刻胶的抗刻蚀能力
D有利于以后的去胶工序
E减少光刻胶的缺陷
正确答案
答案解析
略
相似试题
（单选题）
涂胶以后的晶片，需要在一定的温度下进行烘烤，这一步骤称为（）。
（多选题）
涂胶之前，要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行，下列操作正确的是（）。
（单选题）
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（多选题）
二氧化硅膜的质量要求有（）。
（多选题）
晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
（单选题）
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（多选题）
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（单选题）
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