A重要步骤
B次要步骤
C首要步骤
D不一定
（单选题）
真空蒸发又被人们称为（）。
答案解析
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
（多选题）
从电极的结构看，溅射的方法包括（）。
溅射的方法非常多其中包括（）。
一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时，需要将硅片先装入（），然后再装入扩散炉。
净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。
对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。
