A产生一个离子并导向靶
B被轰击的原子向硅晶片运动
C离子把靶上的原子轰出来
D经过加速电场加速
E原子在硅晶片表面凝结
（多选题）
从电极的结构看，溅射的方法包括（）。
答案解析
溅射的方法非常多其中包括（）。
（单选题）
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。
用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。
真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。
真空镀膜室是由（）几部分组成。
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
一般来说，我们用一定量的（）使阳树脂再生。
