A衬底加热器
B抽气系统
C真空室
D蒸气源加热器
(单选题)
()由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
答案解析
真空镀膜室内,在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板,用来()。
用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料,是形成电极的()。
(多选题)
真空镀膜室是由()几部分组成。
真空蒸发又被人们称为()。
一般来说,溅射镀膜的过程包括()这几步。
(简答题)
电子产品的构成是怎样的?
直流二极管辉光放电系统是由()构成。
悬浮在空气中的颗粒称为()。