（多选题）
从电极的结构看，溅射的方法包括（）。
A直流溅射
B交流溅射
C二级溅射
D三级溅射
E四级溅射
正确答案
答案解析
略
相似试题
（多选题）
溅射的方法非常多其中包括（）。
（单选题）
用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。
（多选题）
一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。
（单选题）
（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
（单选题）
采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。
（单选题）
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（单选题）
静电偏转电极和静电扫描器都是（）电容器。
（单选题）
离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。
（单选题）
晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。
