A片状
B针尖状
C圆筒状
D平行板
（单选题）
ESD产生（）种不同的静电总类。
答案解析
静电释放的英文简述为（）。
（多选题）
静电释放带来的问题有哪些（）。
由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。
离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。
从电极的结构看，溅射的方法包括（）。
为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。
（简答题）
简述电解电容器的结构、特点及用途。
扩散炉中的管道一般都是用（）制作。
