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(简答题)

例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。

正确答案

1,分滴,当硅片静止或者旋转得非常缓慢时,光刻胶被分滴在硅片上
2,旋转铺开,快速加速硅片的旋转到一高的转速使光刻胶伸展到整个硅片表面
3,旋转甩掉,甩去多余的光刻胶,在硅片上得到均匀的光刻胶胶膜覆盖层
4,溶剂挥发,以固定转速继续旋转已涂胶的硅片,直至溶剂挥发,光刻胶胶膜几乎干燥。

答案解析

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