Aa.离子束刻蚀、激光刻蚀
Bb.干法刻蚀、湿法刻蚀
Cc.溅射加工、直写加工
（填空题）
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
答案解析
（简答题）
什么是切削运动？根据作用的不同，可分为哪两种运动？试分析车削和铣削加工中的切削运动？
什么是酸化？按照酸化工艺不同，酸化可分为哪两种？
精炼设备与工艺分为哪两种，各自的优缺点是什么？
（单选题）
我们把技术活动中的加工程序和方法称为工艺。下列关于工艺的说法正确的是（）
（名词解析）
微细加工工艺方法
简述微细加工工艺方法。
泵的汽蚀余量可分为哪两种？
顶镦可分为哪两种？
