（填空题）
微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
正确答案
三束加工技术；牺牲层技术；外延生长技术
答案解析
略
相似试题
（名词解析）
微细加工工艺方法
（简答题）
简述微细加工工艺方法。
（简答题）
什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。
（单选题）
光刻加工的工艺过程为：（）
（单选题）
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
（填空题）
热加工工艺方法主要包括铸造、（）、焊接、（）等加工方法。
（填空题）
用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）
（简答题）
微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？
（填空题）
小麦加工工艺中清理工序与稻谷加工相比，主要增加有（）、（）、（）等工艺操作。
