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(单选题)

悬浮区熔法检验多晶硅中基磷含量时,采用快速区熔法的工艺时,第一次区熔时,第一区熔区停留挥发时间()左右。

A3min

B5min

C7min

D10min

正确答案

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  • (简答题)

    简述悬浮区熔法检验硅多晶中硼、磷含量的原理.

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