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(简答题)

简述悬浮区熔法检验硅多晶中硼、磷含量的原理.

正确答案

利用硅熔体中杂质的分凝效应和蒸发效应,在真空条件下,在硅棒上建立一个熔区,熔区温度为1410℃,并使之从一端移至另一端,以达到提纯和控制杂质的目的。

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