（简答题）
电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点
正确答案
三者都适用于精密，微细加工，但电子束，离子束需在真空中进行，因此加工表面不会被氧化，污染，特别适合于"清洁"，"洁净"加工.离子束主要用于精微"表面工程"，激光因可在空气中加工，不受空间结构的限制，故也适用于大型工件的切割，热处理等工艺
答案解析
略
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电子束和离子束加工为什么必须在真空条件下进行？
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（填空题）
电子束加工的装置主要包括（）和（）、（）等。
（简答题）
试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？
（填空题）
在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是（）和（）。
（判断题）
超声加工、电子束加工、激光加工都是特种机械加工方法。
