（简答题）
电子束加工、离子束加工和热作用各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
正确答案
三者都是用于精密、微细加工，但电子束。离子束加工须在真空中进行，因此加工表面不会被氧化、污染，特别适合于“洁净”加工，电子束加工是基于电能使电子加速转换成动能，在撞击工件时动能换成热能使材料熔化、气化而被蚀除，主要用于打孔、切割焊接、热处理等。而电解液的主要作用是电能使质量大的正离子加速后答道工件表面，靠机械撞击能量使工件表面的原子层变形，破坏或切除分离，并不发热，主要用于精微表面工程，有离子刻蚀、溅射沉积、离子镀、离子注入等形式，激光加工是靠高能量密度的光能转换成热能是材料熔化、气化而被切除，可在空气中加工，不受空间结构的限制，故也适用于大型工件的切割、焊接、热处理等工艺。
答案解析
略
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电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
（简答题）
电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点
（填空题）
离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。
（填空题）
离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。
（判断题）
离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的加工方法。
（简答题）
离子束加工为什么能实现纳米级加工？
（判断题）
激光加工与离子束加工要求有真空装置。
（判断题）
超声加工、电子束加工、激光加工都是特种机械加工方法。
（判断题）
离子束加工机床（激光加工机床）是采用激光能量进行加工的设备的总称。
