（简答题）

溅镀机抽不上真空有几种可能？

正确答案

（1）检查气管是否有漏气；
（2）清理PA、SA与主仓接触部位；
（3）检查真空泵油位情况；
（4）关闭程序，关闭电源，重新开机。

答案解析

略

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