辉光放电区分为
c-d：前期辉光放电区
d-e：正常辉光放电区
e-f：反常辉光放电区
其中溅射选定区域在反常辉光放电区
（简答题）
气体直流辉光放电分为哪几个区？其中辉光放电区包括哪几个区？溅射区域选择在哪个区？
正确答案
分为暗流区，汤生放电区，辉光放电区，电弧放电区。
辉光放电区分为
c-d：前期辉光放电区
d-e：正常辉光放电区
e-f：反常辉光放电区
其中溅射选定区域在反常辉光放电区
辉光放电区分为
c-d：前期辉光放电区
d-e：正常辉光放电区
e-f：反常辉光放电区
其中溅射选定区域在反常辉光放电区
答案解析
略
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