（简答题）
什么是特征尺寸？它对集成电路工艺有何影响？
正确答案
集成电路中半导体器件的最小尺寸如MOSFET的最小沟道长度。是衡量集成电路加工和设计水平的重要标志。它的减小使得芯片集成度的直接提高。
答案解析
略
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