（填空题）
目前常用的CVD系统有（）、（）和（）。
正确答案
APCVD；LPCVD；PECVD
答案解析
略
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（简答题）
简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。
（多选题）
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（单选题）
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（填空题）
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（简答题）
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（填空题）
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（填空题）
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（填空题）
目前常用的加压形式有（）加压和（）加压。
