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(简答题)

扫描电子显微镜的工作原理是什么?

正确答案

工作原理:由三极电子枪发射出来的电子束,在加速电压作用下,经过2-3个电子透镜聚焦后,在样品表面按顺序逐行进行扫描,激发样品产生各种物理信号。这些物理信号的强度随样品表面特征而变,它们分别被相应的接收器接受,经放大器按顺序成比例的放大后,送到显像管的栅极上,用来同步调制显像管的电子束强度,即显像管荧光屏上的亮度。供给阴极射线显像管的扫描线圈的电源,此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。因此,样品上电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。这样,在荧光屏上就形成一幅与样品表面特征相对应的画面。

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