（简答题）

什么是纳米光刻？

正确答案

是纳米技术的分支，为纳米级结构的制造，意指图案至少一个尺度的尺寸在单个原子与约100nm之间。纳米光刻主要运用在前沿半导体集成电路（纳米电路）或纳米机电系统（NEMS）的制造中。

答案解析

略

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