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(简答题)

简述CVD原理简单的归纳。

正确答案

(1)CVD沉积反应是由5个相串联的步骤所形成的。其速率的快慢取决于其中最慢的一项,主要是反应物的扩散及CVD的化学反应。
(2)一般而言,当反应温度较低时,CVD将为表面反应限制所决定;当温度较高时,则为扩散限制所控制(但并不是绝对的)。

答案解析

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