(简答题)
多晶硅铸模的制造成技术有哪些?
正确答案
大部分多晶硅基片都是用所谓的铸造法生产的,基片广泛使用10~15cm的角。广泛采用光电导率衰减测定法测定少数载流子在基片内的寿命分布,一般采用激光束诱导电流法评价多晶硅的粒界复合速度,也有人提议用氢处理法及吸收法定量评价粒界界面的复合速度。基片技术中最引人注目的是基片的薄形化技术。
答案解析
略
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(填空题)
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大部分的多晶硅基片都是用所谓的铸造法生产的。基片广泛使用()的角。目前用众所周知的固液界面的()、液固速度等许多知识的累积来生产铸模。
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