（简答题）
单晶硅硅片的制造过程？
正确答案
首先将用CZ法得到的单晶硅铸模用专用切割机进行切割。目前太阳能电池用的铸模，仍以生产性能高的线形锯切割为主，然后对切割面进行研磨，使其表面平滑。由于切割面是被机械冲击过的，因此会残留结晶变形，使电气特性变坏，因此需用HF+HNO3进行腐蚀，使表面减薄10~20μm的程度。最终得到约为300μm厚的硅片。
答案解析
略
相似试题
（填空题）
制造电子器件的基本半导体材料是圆形单晶薄片，称为硅片或（）。在硅片制造厂，由硅片生产的半导体产品，又被称为（）或（）。
（简答题）
绒面结构及作用；单晶硅片和多晶硅片表面制作绒面结构所用的腐蚀剂及提高绒面结构质量采用的措施。
（单选题）
通常由单晶棒所切割的硅片表面可能污染的杂质主要有（）
（填空题）
单晶硅太阳能电池组件的生产流程：（）硅棒（）（）太阳电池组件；多晶硅太阳能电池组件的生产流程：（）硅碇（）硅片太阳电池太阳电池组件。
（判断题）
多晶硅栅的宽度通常是整个硅片上最关键的CD线宽。
（判断题）
不正确的刻蚀将导致硅片报废，给硅片制造公司带来损失。
（简答题）
给出硅片制造中光刻胶的两种目的。
（单选题）
单晶硅电池的制造工艺主要流程为（）
（填空题）
列出热氧化物在硅片制造的4种用途（）、（）、场氧化层和（）。
