（单选题）
干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。
A生长出的二氧化硅中引入很多可动离子
B氧化的速度慢
C生长的二氧化硅缺陷多
D生长的二氧化硅薄膜钝化效果差
正确答案
答案解析
略
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干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。
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