（单选题）
干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。
A稍高于
B大大于
C等于
D没有要求
正确答案
答案解析
略
相似试题
（多选题）
干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。
（单选题）
干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。
（单选题）
在酸性浆料中，最常使用的氧化剂为（）。
（多选题）
下列物质中是结晶形态二氧化硅的有（）。
（单选题）
钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。
（单选题）
如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。
（单选题）
二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。
（多选题）
在半导体工艺中，与氮化硅比较，二氧化硅更适合应用在（）。
（单选题）
硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。
