（单选题）
钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。
A替位式
B间隙式
C施主
D可能是替位式也可能是间隙式
正确答案
答案解析
略
相似试题
（多选题）
二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。
（多选题）
解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。
（单选题）
表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度，习惯上常用（）。
（多选题）
下列物质中是结晶形态二氧化硅的有（）。
（单选题）
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
（单选题）
由于离子交换树脂反应，它既可以去除水中杂质离子，又可以将失效树脂进行处理，恢复交换能力，所以称为（）反应。
（单选题）
二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。
（单选题）
硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。
（单选题）
离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。
