（多选题）
湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。
A化学药品处理时人员会遭遇的安全问题
B反应溶液及去离子水需花费较高成本
C光刻胶会产生附着性问题
D蚀刻不均匀
正确答案
答案解析
略
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（多选题）
湿法蚀刻的方式主要有（）。
（判断题）
湿法蚀刻时蚀刻液的腐蚀是各向同性的，腐蚀发生在和溶液接触的各个方面。
（单选题）
湿法蚀刻的主要方式中产生侧蚀程度最小的是（）。
（判断题）
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（简答题）
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（简答题）
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