A对
B错
（填空题）
多晶硅表面的结晶面是多重的，因此不能像单晶硅基片那样，使用（）的不同方向腐蚀的化学蚀刻方法。
答案解析
（判断题）
酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定，容易控制。
（多选题）
湿法蚀刻的方式主要有（）。
在湿法蚀刻中，侧蚀是不可避免的，所以镀层突沿总是存在的。
湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。
（单选题）
湿法蚀刻的主要方式中产生侧蚀程度最小的是（）。
蚀刻液的主要成分是（）。
侧蚀程度的大小与蚀刻液的种类、组成和所使用的蚀刻工艺及设备有关。
蚀刻液的种类有（）。
