（单选题）
（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。
A蒸镀
B离子注入
C溅射
D沉积
正确答案
答案解析
略
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（多选题）
直流二极管辉光放电系统是由（）构成。
（单选题）
在直流二极管辉光放电系统的玻璃管中，自由电子在碰撞氩原子之前可运动的平均距离又叫（）。
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（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。
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在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。
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损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。
（多选题）
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
