(判断题)
对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。
A对
B错
正确答案
答案解析
略
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(判断题)
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。
(判断题)
曝光后烘焙,简称后烘,其对传统I线光刻胶是必需的。
(简答题)
负性和正性光刻胶有什么区别和特点?
(填空题)
光刻中影响甩胶后光刻胶膜厚的因素有()、()、()、()。
(简答题)
什么是光刻加工技术?试简述光刻加工的原理和工艺流程。
(填空题)
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(判断题)
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(判断题)
如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶,则这种光刻胶为正胶。
(判断题)
光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是,光刻胶只对特定波长的光线敏感,例如深紫外线和白光,而对黄光不敏感。