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(简答题)

什么是外延层?为什么在硅片上使用外延层?

正确答案

1)在某种情况下,需要硅片有非常纯的与衬底有相同晶体结构的硅表面,还要保持对杂质类型和浓度的控制,通过外延技术在硅表面沉积一个新的满足上述要求的晶体膜层,该膜层称为外延层。
2)在硅片上使用外延层的原因是外延层在优化pn结的击穿电压的同时降低了集电极电阻,在适中的电流强度下提高了器件速度。外延在CMOS集成电路中变得重要起来,因为随着器件尺寸不断缩小它将闩锁效应降到最低。外延层通常是没有玷污的。

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