（简答题）
为什么说洁净技术是半导体芯片制造过程中的一项重要技术？
答案解析
操作人员的质量职责是什么？
简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？
（判断题）
设备、试剂、气瓶等所有物品不需经严格清洁处理，可直接进入净化区。（）
什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？
什么叫晶体缺陷？
根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求？
简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
