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(单选题)

离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作()。

A离子距离

B靶厚

C射程

D注入深度

正确答案

来源:www.examk.com

答案解析

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    对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。

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    ()是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

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    为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染,可在靶室前增加一个()或采用无油泵。

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    将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后,装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内,自来水()通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

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