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(多选题)

为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。

A低电阻率

B易与p或n型硅形成欧姆接触

C可与硅或二氧化硅反应

D易于光刻

E便于进行键合

正确答案

来源:www.examk.com

答案解析

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