（判断题）
LPCVD紧随PECVD的发展而发展。由660℃降为450℃，采用增强的等离子体，增加淀积能量，即低压和低温。
A对
B错
正确答案
答案解析
略
相似试题
（填空题）
缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。
（填空题）
PECVD所采用的等离子种类有（）。
（简答题）
简述低压CVD系统（LPCVD）的优缺点。
（判断题）
LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。
（判断题）
与APCVD相比，LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能，因此应用更为广泛。
（填空题）
工业工程正是由于不断吸收现代科技成就，尤其是（）、（）、（）及相关的学科知识，有了理论基础和科学手段，才得以由经验为主发展到以定量分析为主；以研究生产局部或小系统的改善，到研究大系统的整体（）和（）的提高，而成为一门独立的学科。
（填空题）
科学的研究方法是在（）中逐渐创造发展起来的，并随着科学技术的发展而完善。
（单选题）
应宇航事业发展而开发的电池是：（）
（单选题）
“感知中国”是我国政府为促进什么技术发展而制定的（）。
